Mikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíku

Abstract

Tato práce je věnována studiu mikrodefektů v monokrystalech Czochralskiho křemíku s dopanty typu N. Charakterizace distribuce a charakteru mikrodefektů v křemíkových deskách byla provedena pomocí optického mikroskopu a skenovacího elektronového mikroskopu. Diplomová práce byla vytvořena za podpory společnosti ON Semiconductor Czech Republic, Rožnov pod Radhoštěm.

The diploma thesis is devoted to the study of microdefects in N-type Czochralski single-crystal silicon. Characterization of defects type and distribution was made using an optical microscope with differential interference contrast and scanning electron microscopy. This diploma thesis was created with the support of ON Semiconductor Czech Republic, Rožnov pod Radhošťem.