Aplikace EBSD v materiálovém inženýrství

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá využitím techniky difrakce zpětně odražených elektronů (EBSD) ve skenovací elektronové mikroskopii. V teoretické části jsou nejprve popsány základní principy EBSD, signály vznikající při dopadu primárního svazku na vzorek, základy vyhodnocení EBSD difrakčních obrazců a prezentace EBSD výsledků. Dále jsou zde popsány nejdůležitější aplikace EBSD v materiálovém inženýrství. Experimentální část se zaměřuje na porovnání hodnocení velikosti zrn metodami světelné mikroskopie a EBSD, dále je zde diskutován příklad analýzy přednostní orientace zrn v GOES a příklad fázové analýzy precipitace ve svarovém spoji.

This bachelor’s thesis deals with the method of Electron Backscatter Diffraction (EBSD) in scanning electron microscopy. The theoretical section describes the fundamental principles of EBSD, the signals generated by the primary electron beam, basics of the evaluation of EBSD diffraction patterns and the presentation of EBSD results. The most important EBSD applications in materials engineering are reviewed. The experimental section focuses on comparing grain size measurements obtained by optical microscopy and EBSD, followed by study cases of preferred orientation analysis of grains in GOES and phase analysis of precipitation in a weld joint.