Estimation of the dielectric properties of low-k materials using optical spectroscopy

Autor
Datum vydání
2001
Typ dokumentu
article
Lokace
Není ve fondu ÚK
ISSN
0003-6951
1077-3118
Metadata
Zobrazit celý záznam
Citace zdrojového dokumentu
Applied Physics Letters. 2001, vol. 79, issue 14, p. 2231-2233.
Dostupné na
http://dx.doi.org/10.1063/1.1408607
URI
http://hdl.handle.net/10084/60831
Kolekce
Citace PRO