Optical measurements of silicon wafer temperature
Datum vydání
2007Typ dokumentu
article
Lokace
Není ve fondu ÚK
ISSN
0169-4332
Metadata
Zobrazit celý záznam
Citace zdrojového dokumentu
Applied Surface Science. 2007, vol. 254, issues 1, p. 416-419.
Dostupné na
http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2007.07.086Poznámka
Issue 1 (2007): International Conference on Solid Films and Surfaces : ICSFS 13, San Carlos de Bariloche, Argentina, November 6-10, 2006. Proceeding