Experimental spectral ellipsometry of 1D deep lamellar gratings

DSpace/Manakin Repository

aaK citaci nebo jako odkaz na tento záznam použijte identifikátor: http://hdl.handle.net/10084/31973

Show simple item record


dc.contributor.author Pištora, Jaromír en
dc.contributor.author Yamaguchi, Tomuo en
dc.contributor.author Horie, Masahiro en
dc.contributor.author Aoyama, Mitsuru en
dc.date.accessioned 2006-04-19T20:33:51Z
dc.date.available 2006-04-19T20:33:51Z
dc.date.issued 2003 en
dc.identifier.citation Sborník vědeckých prací Vysoké školy báňské - Technické univerzity Ostrava. Řada hornicko-geologická. 2003, roč. 49, č. 1, s. 59-67 : il. en
dc.identifier.issn 0474-8476 en
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10084/31973
dc.description.abstract The phase modulated spectroscopic ellipsometry (PMSE) as the excellent experimental technique for the specification of optical and geometrical parameters of thin films and multilayer dielectric coatings has been applied for the inspection of one-dimensional deep gratings. The experiments have been realized at the incidence angles from 48 to 75 degrees (depending on the kind of measurement) for the zero reflected order in the spectral region from 270 to 700 nanometers. The lamellar gratings have been realized by etching method on the common SiO2 substrate. The main attention has been concentrated to the experimental study of the influence of the groove breadth, mutual position of incidence plane and grating geometry, and incidence angles on ellipsometric angle dispersion of diffracted light.
dc.description.abstract Fázově modulovaná spektrální elipsometrie (PMSE) jako vynikající experimentální technika pro určování optických a geometrických parametrů tenkých vrstev a dielektrických povrchů tvořených multivrstvami byla využita pro výzkum jednorozměrných hlubokých mřížek. Experimenty byly prováděny pro úhly dopadu od 48 do 75 stupňů (v závislosti na druhu měření) pro nulový reflexní řád ve spektrální oblasti 270 až 700 nanometrů. Lamelární mřížky byly připraveny leptací metodou na společné podložce z oxidu křemíku. Hlavní pozornost byla soustředěna na experimentální studium vlivu šířky vrypu, vzájemné polohy roviny dopadu světla a mřížkové geometrie a úhlů dopadu světla na disperzi elipsometrických úhlů difraktovaného světla.
dc.format.extent 648008 bytes cs
dc.format.mimetype application/pdf cs
dc.language.iso en en
dc.publisher Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava en
dc.relation.ispartofseries Sborník vědeckých prací Vysoké školy báňské - Technické univerzity Ostrava. Řada hornicko-geologická en
dc.relation.uri http://gse.vsb.cz/2003/XLIX-2003-1-59-68.pdf
dc.title Experimental spectral ellipsometry of 1D deep lamellar gratings en
dc.title.alternative Experimentální spektrální elipsometrie jednodimenzionálních hlubokých lamelárních mřížek en
dc.type article en
dc.rights.access openAccess
dc.type.version publishedVersion
dc.type.status Peer-reviewed

Files in this item

Files Size Format View Description
hor-XLIX-2003-1-59-68-pistora.pdf 632.8Kb PDF View/Open publishedVersion

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Navigation

Browse

My Account

Statistics