Zobrazit minimální záznam

dc.contributor.authorPištora, Jaromíren
dc.contributor.authorYamaguchi, Tomuoen
dc.contributor.authorHorie, Masahiroen
dc.contributor.authorAoyama, Mitsuruen
dc.date.accessioned2006-04-19T20:33:51Z
dc.date.available2006-04-19T20:33:51Z
dc.date.issued2003en
dc.identifier.citationSborník vědeckých prací Vysoké školy báňské - Technické univerzity Ostrava. Řada hornicko-geologická. 2003, roč. 49, č. 1, s. 59-67 : il.en
dc.identifier.issn0474-8476en
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10084/31973
dc.description.abstractThe phase modulated spectroscopic ellipsometry (PMSE) as the excellent experimental technique for the specification of optical and geometrical parameters of thin films and multilayer dielectric coatings has been applied for the inspection of one-dimensional deep gratings. The experiments have been realized at the incidence angles from 48 to 75 degrees (depending on the kind of measurement) for the zero reflected order in the spectral region from 270 to 700 nanometers. The lamellar gratings have been realized by etching method on the common SiO2 substrate. The main attention has been concentrated to the experimental study of the influence of the groove breadth, mutual position of incidence plane and grating geometry, and incidence angles on ellipsometric angle dispersion of diffracted light.
dc.description.abstractFázově modulovaná spektrální elipsometrie (PMSE) jako vynikající experimentální technika pro určování optických a geometrických parametrů tenkých vrstev a dielektrických povrchů tvořených multivrstvami byla využita pro výzkum jednorozměrných hlubokých mřížek. Experimenty byly prováděny pro úhly dopadu od 48 do 75 stupňů (v závislosti na druhu měření) pro nulový reflexní řád ve spektrální oblasti 270 až 700 nanometrů. Lamelární mřížky byly připraveny leptací metodou na společné podložce z oxidu křemíku. Hlavní pozornost byla soustředěna na experimentální studium vlivu šířky vrypu, vzájemné polohy roviny dopadu světla a mřížkové geometrie a úhlů dopadu světla na disperzi elipsometrických úhlů difraktovaného světla.
dc.format.extent648008 bytescs
dc.format.mimetypeapplication/pdfcs
dc.language.isoenen
dc.publisherVysoká škola báňská - Technická univerzita Ostravaen
dc.relation.ispartofseriesSborník vědeckých prací Vysoké školy báňské - Technické univerzity Ostrava. Řada hornicko-geologickáen
dc.relation.urihttp://gse.vsb.cz/2003/XLIX-2003-1-59-68.pdf
dc.rights© Vysoká škola báňská-Technická Univerzita Ostravacs
dc.titleExperimental spectral ellipsometry of 1D deep lamellar gratingsen
dc.title.alternativeExperimentální spektrální elipsometrie jednodimenzionálních hlubokých lamelárních mřížeken
dc.typearticleen
dc.rights.accessopenAccess
dc.type.versionpublishedVersion
dc.type.statusPeer-reviewed


Soubory tohoto záznamu

Thumbnail

Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích

Zobrazit minimální záznam