Aditivní výroba mikrosenzorů: Vývoj, optimalizace konstrukce a postup výroby

Abstract

Bakalářská práce se zabývá vývojem mikrosenzorů pomocí aditivních technologií. V úvodu jsou analyzovány dostupné metody výroby s důrazem na jejich přesnost, rozlišení a vhodnost pro mikrosenzorové aplikace. Na základě této analýzy jsou vybrány dvě technologie – fotolitografie a inkoustový tisk – pro návrh a realizaci testovacích struktur. Obě metody jsou experimentálně ověřeny a výsledky jsou porovnány z hlediska kvality provedení a elektrických vlastností. Výsledky měření slouží k vyhodnocení vhodnosti daných technologií pro výrobu mikrosenzorů a k návrhu optimalizací v budoucím vývoji. Celý návrhový i výrobní proces je podrobně popsán a zdokumentován v praktické části práce.

The bachelor thesis deals with the development of microsensors using additive technologies. In the introduction, available fabrication methods are analyzed with emphasis on their accuracy, resolution and suitability for microsensor applications. Based on this analysis, two technologies - photolithography and inkjet printing - are selected for the design and implementation of test structures. Both methods are experimentally verified and the results are compared in terms of design quality and electrical properties. The measurement results are used to evaluate the suitability of the technologies for the fabrication of microsensors and to suggest optimizations in future developments. The entire design and manufacturing process is described and documented in detail in the practical part of the thesis.