Phase retrieval from the spectral interference signal used to measure thickness of SiO2 thin film on silicon wafer

Autor
Datum vydání
2007
Typ dokumentu
article
Lokace
Není ve fondu ÚK
ISSN
0946-2171
1432-0649
Metadata
Zobrazit celý záznam
Citace zdrojového dokumentu
Applied Physics B. 2007, vol. 88, no. 3, p. 397-403.
Dostupné na
http://dx.doi.org/10.1007/s00340-007-2709-4
URI
http://hdl.handle.net/10084/63507
Kolekce
Citace PRO