Effects influencing the spectral ellipsometry angles of 2D periodical structures

Loading...
Thumbnail Image

Downloads

Date issued

Authors

Pištora, Jaromír
Vlček, Jaroslav
Yamaguchi, Tomuo
Postava, Kamil
Horie, Masahiro
Aoyama, Mitsuru

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava

Location

Signature

Abstract

Description

Subject(s)

Citation

Sborník vědeckých prací Vysoké školy báňské - Technické univerzity Ostrava. Řada elektrotechnická. 2003, roč. 6, č. 1, s. 180-192 : il.