Mikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíku

Show simple item record
dc.contributor.advisorČech Barabaszová, Karla
dc.contributor.authorPoštulka, Dušan
dc.contributor.consultantLysáček, David
dc.contributor.refereeLuňáček, Jiří
dc.date.accepted2019-06-12
dc.date.accessioned2019-06-26T04:46:05Z
dc.date.available2019-06-26T04:46:05Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractTato práce je věnována studiu mikrodefektů v monokrystalech Czochralskiho křemíku s dopanty typu N. Charakterizace distribuce a charakteru mikrodefektů v křemíkových deskách byla provedena pomocí optického mikroskopu a skenovacího elektronového mikroskopu. Diplomová práce byla vytvořena za podpory společnosti ON Semiconductor Czech Republic, Rožnov pod Radhoštěm.cs
dc.description.abstractThe diploma thesis is devoted to the study of microdefects in N-type Czochralski single-crystal silicon. Characterization of defects type and distribution was made using an optical microscope with differential interference contrast and scanning electron microscopy. This diploma thesis was created with the support of ON Semiconductor Czech Republic, Rožnov pod Radhošťem.en
dc.description.department9360 - Centrum nanotechnologiícs
dc.description.resultvýborněcs
dc.format.extent10457516 bytes
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.otherOSD002
dc.identifier.senderS2790
dc.identifier.thesisPOS0170_USP_N3942_3942T001_2019
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10084/137484
dc.language.isocs
dc.publisherVysoká škola báňská - Technická univerzita Ostravacs
dc.rights.accessopenAccess
dc.subjectkřemíková deskacs
dc.subjectmikrodefektycs
dc.subjectVoronkovova teoriecs
dc.subjectsilicon waferen
dc.subjectmicrodefectsen
dc.subjectVoronkov theoryen
dc.thesis.degree-branchNanotechnologiecs
dc.thesis.degree-grantorVysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava. Univerzitní studijní programycs
dc.thesis.degree-levelMagisterský studijní programcs
dc.thesis.degree-nameIng.
dc.thesis.degree-programNanotechnologiecs
dc.titleMikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíkucs
dc.title.alternativeMicrodefects in Czochralski single-crystal siliconen
dc.typeDiplomová prácecs

Files

Original bundle

Now showing 1 - 4 out of 4 results
Thumbnail Image
Name:
POS0170_USP_N3942_3942T001_2019.pdf
Size:
9.97 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Text práce
Download
Thumbnail Image
Name:
POS0170_USP_N3942_3942T001_2019_posudek_vedouci_Cech_Barabaszova_Karla.pdf
Size:
52.23 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího – Čech Barabaszová, Karla
Download
Thumbnail Image
Name:
POS0170_USP_N3942_3942T001_2019_posudek_oponent_Lunacek_Jiri.pdf
Size:
55.51 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta – Luňáček, Jiří
Download
Thumbnail Image
Name:
POS0170_USP_N3942_3942T001_2019_posudek_konzultant_Lysacek_David.pdf
Size:
85.89 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek konzultanta – Lysáček, David
Download

Collections

Vysokoškolské kvalifikační práce univerzitních studijních programů / Theses and dissertations of University Study Programmes