Spectroscopic characterization and modelling of transparent conductive layers of fluorine doped tin oxide

Abstract

This bachelor thesis is focused on characterization of optical properties of thin film fluorine doped tin oxide (FTO). This film is used as transparent conductive oxide. To develop optical models of the studied sample, a review of models of the different TCO is presented. Geometry of the developed model of the studied FTO sample is derived from transmission electron micrograph. To determine optical functions and geometry of the sample, experimental data measured by spectroscopic ellipsometry and spectrophotometry are fitted.

Tato bakalářská práce je zaměřena na studium a charakterizaci optických vlastností Tenké vrstvy vzorku flouroem dopovaného oxidu ciničitého. Tento materiál je součástí skupiny transparentních vodivých oxidů. Pro úspěšný vývoj optického modelu studovaného vzorku byla provedena rešerže nejčastěji používaných transparentních vodivých oxidů. Výsledky této rešerže jsou taktéž v této práci prezentovány. S využitím mikrografu z transmisního elektronového mikroskopu byl vyvinut vrstevnatý optický model a přibližně určeny geotermické parametry studovaného vzorku. Parametry modelu a optické funkce byly následně určeny fitováním dat spektroskopické elipsometrie a transmisní spektrofotometrie.