Optical functions of low-k materials for interlayer dielectrics
Datum vydání
2001Typ dokumentu
article
Lokace
Není ve fondu ÚK
ISSN
0021-89791089-7550
Metadata
Zobrazit celý záznam
Citace zdrojového dokumentu
Journal of Applied Physics. 2001, vol. 89, issue 4, p. 2189-2193.