Optical characterization of TiN/SiO2(1000 nm)/Si system by spectroscopic ellipsometry and reflectometry

Autor
Datum vydání
2001
Typ dokumentu
article
Lokace
Není ve fondu ÚK
ISSN
0169-4332
Metadata
Zobrazit celý záznam
Citace zdrojového dokumentu
Applied Surface Science. 2001, vols. 175-176, p. 270-275.
Dostupné na
http://dx.doi.org/10.1016/S0169-4332(01)00095-2
URI
http://hdl.handle.net/10084/60826
Kolekce
Citace PRO