Effects influencing the spectral ellipsometry angles of 2D periodical structures

View/Open
Author
Pištora, Jaromír
Vlček, Jaroslav
Yamaguchi, Tomuo
Postava, Kamil
Horie, Masahiro
Aoyama, Mitsuru
Date
2003
Type
article
ISSN
1210-048X
Type version
publishedVersion
Metadata
Show full item record
Citation source document
Sborník vědeckých prací Vysoké školy báňské - Technické univerzity Ostrava. Řada elektrotechnická. 2003, roč. 6, č. 1, s. 180-192 : il.
Rights access
restrictedAccess
Rights
© Vysoká škola báňská-Technická Univerzita Ostrava
URI
http://hdl.handle.net/10084/31883
Collections
Citace PRO